2气体输运系统气体的输运管都是不锈钢管道为了防止存储效应，管内进行了电解抛光管道的接头用氢弧焊或VCR及Swagelok方式连接，并进行正压检漏及Snoop液体或He泄漏检测，保证反应系统无泄漏是MOCVD设备组装的关键之一流量是由不同量程响应时间快精度高的质量流量计和电磁阀气动阀等来实现在。...